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当前位置:首页 产品中心 半导体&LCD专用设备
◆采用一套单臂气动机械手传动,定位精准,效率高。
◆人械界面,PLC程序控制,触摸屏操作。
◆机架及全封闭外罩、高效空气过滤器,防止二次污染。
◆采用40KHz超声波频率,可选配68KHz、120KHz等 高频超声波。
◆Di冰清洗、真空清洗、离心及真空干燥等组合式工艺。
◆设置摇动机构,清洗洁净度均匀。
◆各功能过载保护声光报警显示功能。